在实验室日常使用真空泵的一些应用中,可能会抽吸到酸碱、有机、强氧化等腐蚀性气体。如果使用普通的真空泵去抽吸上述这些气体,真空泵的零部件,包括但不限于密封圈、管接头、气路管道、进出气阀片等均会受到腐蚀,日积月累,上述零部件会出现老化、变形、开裂,严重的直接腐蚀溶解。此时真空泵会出现吸力不足、抽速变慢、卡顿、时而可以启动时而启动不了,甚至完全无法开机运行的现象。这主要是因为普通真空泵无论是在零部件的选材以及设计上面,只能满足一般抽真空的需要,并非出于防腐蚀的考虑。例如常见的会使用金属材质如铜、铸铁用于气路和管接头的制造,使用橡胶或尼龙制作进出气阀片。