匀胶旋涂仪(Spin Coater),也称甩胶机,是一种利用离心力成膜的设备。运行时基片固定在高速旋转的载物台上,滴于其中心的胶液向四周铺展并伴随溶剂挥发,形成厚度均匀的薄膜,通过转速与时间来控制膜厚。广泛用于半导体、微电子、光学和材料领域,典型应用是光刻胶在晶圆上的涂布,以及 PDMS、SU-8、树脂、纳米分散液等在硅片、玻璃片上的成膜。由于旋涂时基片转速高达每分钟数千转,必须固定可靠。所以会使用真空泵在载物台内建立负压,借助基片上下的压差将其平整牢固地吸住,作用力均匀、取放方便、避免滑移、偏心和飞片,还能使膜厚